2025年度活動報告・上野・リム研究室
2025.04.012026.01.23
スタッフ
発表論文
“Frequency-modulation atomic force microscopy observation of 1T-TaS2 in the nearly commensurate charge density wave phase” T. Ono, T. Shigeno, Y. Yasui, M. Fukuda, T. Ozaki, K. Ueno and Y. SugimotoAppl. Phys. Lett. 126 (2025) 263102https://doi.org/10.1063/5.0273456
“Structural and electric characterization of sputtered Pt/WSe2 contacts toward high performance 2D p -FETs” R. Nakajima, T. Nishimura, K. Kanahashi, S. Hatayama, W.H. Chang, Y. Saito, T. Irisawa, K. Ueno, Y. Miyata, T. Taniguchi, K. Watanabe, K. NagashioACS Omega 10 (2025) 42973-42979https://doi.org/10.1021/acsomega.5c05764
“Patterning of layered semiconductor GeS2 by laser photooxidation and water immersion” S. Tahara, K. Ueno, K. Kamiya, T. Sakai, R. NouchiNanoscale 17 (2025) 25877-25883https://doi.org/10.1039/D5NR01130B
“Quantitative ToF-SIMS Assessment of In-Plane and Out-of-Plane Nb Doping Uniformity in CVT-Grown MoS2 Crystals” I. Tanaka, M. Wei, T. Nishimura, K. Kanahashi, S. Morito, K. Ueno, A. Azizi, K. NagashioSmall Methods 9 (2025) e01405https://doi.org/10.1002/smtd.202501405
総説、解説等
著書
学会発表(予定を含む)
2026年 第73回応用物理学会春季学術講演会(2026年3月15~18日、ハイブリッド開催(東京科学大学 大岡山キャンパス+オンライン))
Re置換ドープMoSe2 によるSS < 60 mV/decのP-TFET動作実証
1 東大マテ工、2 埼玉大、3 NIMS 〇 杉山 紀成1 、森戸 智2 、若林 采佳2 、西村 知紀1 、金橋 魁利1 、谷口 尚3 、渡邊 賢司3 、上野 啓司2 、長汐 晃輔1 15p-M_124-2
元素置換ドープTMDCを用いた面内トンネルFETにおけるボルツマン限界以下サブスレッショルドスイングの実証
1 東大マテ工、2 埼玉大院理工 〇 金橋 魁利1 、西村 知紀1 、上野 啓司2 、長汐 晃輔1 15p-M_124-4
電極蒸着で生じた歪みによるWSe2 FETの電気特性の変化
1 東京大、2 埼玉大、3 NIMS 〇 中島 隆一1 、西村 知紀1 、金橋 魁利1 、上野 啓司2 、遠藤 尚彦3 、宮田 耕充3 、長汐 晃輔1 15p-M_124-12
TaOx ゲートMoS2 FETにおけるヒステリシス機構の検証
1 関西大院理工、2 九州大院工、3 国立中興大学、4 埼玉院理工 〇 佐橋 悠太朗1 、麻生 亮太郎2 、富田 雄人2 、Lin Che-Yi3 、稲田 貢1 、上野 啓司4 、Lin Yen-Fu3 、山本 真人1 16a-M_178-8
W前駆体を用いた基板/金界面へのWS2 薄膜成長
埼玉大院理工 〇 武居 建汰、上野 啓司、リム ホンエン 16p-PA7-4
ミストCVDにより成膜した高誘電率絶縁膜上への遷移金属ダイカルコゲナイド薄膜成長
1 立命館大理工、2 R-GIRO、3 埼玉大理、4 神奈川大 川上 滉之朗1 、〇 松岡 友希1 、田村 天琉1 、クドゥス アブドゥル2 、上野 啓司3 、リム ホンエン3 、白井 肇4 、毛利 真一郎1 16p-PA7-8
化学気相成長法によるβ相MoTe2 ナノリボンの成長制御
1 埼玉大院理工、2 産総研、3 東大院新領域、4 物材機構 〇 山田 樹1 、斎藤 慎太朗1 、劉 崢2 、中西 勇介3 、宮田 耕充4 、上野 啓司1 、リム ホンエン1 16p-PA7-13
プラズマ処理・セレン化による MoSe2 /Janus SMoSe の形成
埼玉大院理工 〇 山口 真由、上野 啓司、リム ホンエン 16p-PA7-17
セレン化ガリウム単層膜のエピタキシャル成長とヤヌス化
埼玉大院理工 〇 元木 友佑、リム ホンエン、上野 啓司 16p-PA7-18
液相剥離TaS2 を酸化して得られたTaOx 薄膜の絶縁性評価
1 関西大システム理工、2 関西大院理工、3 埼玉大院理工 〇 河井 蒼空1 、能見 彩音2 、新井 洸大2 、稲田 貢2 、佐藤 伸吾2 、高橋 智一2 、青柳 誠司2 、上野 啓司3 、山本 真人2 16p-PA7-27
セレン化インジウムをチャネル層とする電界効果トランジスタの高性能化と動作安定化
埼玉大院理工 〇 渡邊 陽斗、リム ホンエン、上野 啓司 16p-PA7-28
アンバイポーラ動作抑制に向けたWSe2 P-FETの2Dコンタクト形成
1 東大マテ工、2 埼玉大、3 NIMS 〇 杉山 紀成1 、森戸 智2 、若林 采佳2 、西村 知紀1 、金橋 魁利1 、谷口 尚3 、渡邊 賢司3 、上野 啓司2 、長汐 晃輔1 16p-PA7-37
Low-Power GaS Phototransistors with Mist-CVD-Grown Al-Ti-O Gate Dielectrics
1 Ritsumeikan Univ., 2 Saitama Univ., 3 Kanagawa Univ. 〇 Abdul A Kuddus1 , Tenryu Tamura1 , Keiji Ueno2 , Hajime Shirai3,2 , Shinichiro Mouri1 18a-PA3-19
38th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2025) (Nov. 17-20, KFC Hall and Rooms, Tokyo)
Synthesis of Janus Layered Group-13 Monochalcogenide Atomic Layers
○ S. Yamaguchi, H.E. Lim, and K. Ueno, 19P-1-14
The 16th International Conference on Recent Progress in Graphene and 2D Materials Research (RPGR2025) (Nov. 3-7, 2025, Toyama International Conference Center, Toyama)
Large-scale synthesis of 1D β-MoTe2
第69回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム(2025年9月24-26日、国立台湾師範大学)
Gate-modulated PL spectroscopy for Nb doping effect in monolayer WSe2
○ Soma Toda, Kaito Kanahashi, Tomonori Nishimura, Satoru Morito, Keiji Ueno, Kosuke Nagashio, 1P-16
Formation of a TaOx thin film on MoS2 by the solution process
○ Ayane Nomi, Mitsuru Inada, Keiji Ueno, Mahito Yamamoto, 1P-29
Charge trap memory based on MoS2 on He+ -irradiated h-BN
○ Mahito Yamamoto, Che-Yi Lin, Takuya Iwasaki, Shu Nakaharai, Keiji Ueno, Takashi Taniguchi, Kenji Watanabe, Yukinori Morita, Shinichi Ogawa, Yutaka Wakayama, Yen-Fu Lin, 2P-28
Direct Growth of Mono/Bilayer MoS2 on Mist CVD-Grown High-k Composite Oxides for Advanced TMD Optoelectronics
○ Koshiro Kawakami, Abdul Kuddus, Lim Hong En, Keiji Ueno, Hajime Shirai, Tenryu Tamura, Shinichiro Mouri, 2P-39
High-density growth of one-dimensional 1T’-MoTe2
○ Hong En Lim, Itsuki Yamada, Shintaro Saito, Zheng Liu, Yusuke Nakanishi, Yasumitsu Miyata, Keiji Ueno, 2P-46
Ion-Gated Operation of In-plane Heterodimensional Tunnel FETs with degenerate Nb-doped WSe2
○ Kaito Kanahashi, Tomonori Nishimura, Satoru Morito, Keiji Ueno, Kosuke Nagashio, 2-6
Atomic-scale analysis of defects in Nb-doped WSe2 via scanning transmission electron microscopy image processing
○ Kohei Aso, Kaito Kanahashi, Mai Nakashima, Takafumi Kakeya, Itsuki Tanaka, Yukiko Yamada-Takamura, Keiji Ueno, Kosuke Nagashio, Yoshifumi Oshima, 3P-31
Direct Synthesis of High-κ Dielectric Al1-x Hfx Oy on ITO by Mist CVD towards MoS2 Phototransistor Devices
○ Tenryu Tamura, Abdul Kuddus, Hajime Shirai, Keiji Ueno, Shinichiro Mouri, 3P-39
2025年 第86回応用物理学会秋季学術講演会(2025年9月7−10日、ハイブリッド開催(名城大学 天白キャンパス+オンライン))
Au/SiO2 界⾯のW薄膜硫化によるWS2 薄膜直接成⻑
埼⼤院理⼯ 〇 秋元 千佳、上野 啓司、リム ホンエン 7a-P05-45
Janus Ga2 SSeの合成とそのRamanスペクトルの第一原理計算による検討
埼⼤院理⼯ 〇 山口 頌平、リム ホンエン、上野 啓司 7a-P05-50
層状1T’-MoTe2 と線状Mo6 Te6 ナノリボンの相互転移
埼玉⼤院理⼯ 〇 中野 颯、山田 樹、斎藤 慎太朗、上野 啓司、リム ホンエン 7a-P05-51
硫化ガリウムをバッファ層とする層状物質チャネル電界効果トランジスタにおけるヒステリシスの低減
埼玉⼤院理⼯ 〇 椎名 嶺、リム ホンエン、上野 啓司 7a-P05-69
TaS2 上にオゾン酸化形成したTaOx 膜をゲート誘電体とするMoS2 FETのヒステリシス特性
1 関⻄⼤院理⼯、2 埼玉⼤院理⼯ 〇 佐橋 悠太朗1 、稲田 貢1 、上野 啓司2 、山本 真人1 7a-P05-78
ゲート変調PL法を⽤いた単層WSe2 におけるNbドーピング効果の考察
1 東⼤マテ⼯、2 埼玉⼤院理⼯ 〇 ⼾田 颯天1 、⾦橋 魁利1 、⻄村 知紀1 、森⼾ 智2 、上野 啓司2 、⻑汐 晃輔1 8p-N302-13
高濃度置換ドープ WSe2 によるEsaki Diodeデバイス評価
1 東⼤マテ⼯、2 埼玉⼤院理⼯、3 NIMS 〇 杉山 紀成1 、森⼾ 智2 、⻄村 知紀1 、⾦橋 魁利1 、谷口 尚3 、渡邊 賢司3 、上野 啓司2 、⻑汐 晃輔1 10a-S102-3
研究会、セミナー講演
外部資金獲得状況
2024~2027年度 日本学術振興会 学術研究助成基金助成金 基盤研究(C) 代表:上野啓司 「層状13族モノカルコゲナイドのヤヌス化による新奇機能性発現」
2022〜2026年度 日本学術振興会 科学研究費補助金 基盤研究(S) 代表:長汐晃輔(東京大学) 「超低消費電力システム構築のための2次元トンネルFETの集積化」研究分担者
2022~2025年度 日本学術振興会 科学研究費補助金 基盤研究(B) 代表:山本真人(関西大学) 「遷移金属ダイカルコゲナイド原子層を酸化前駆体とする機能性酸化物超薄膜の創出」 研究分担者
2023~2025年度 日本学術振興会 学術研究助成基金助成金 基盤研究(C) 代表:リムホンエン 「ヘテロ固体界面における原子層物質の成長」
学会等の活動
上野:日本表面真空学会 真空技術調査部会 研究例会企画専門部会 委員
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